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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Product

外觀性狀: 白色至乳白色自由流動(dòng)粉末,無(wú)味或稍有特征性氣味。


主要性質(zhì): 無(wú)毒、無(wú)刺激、有吸濕性,易溶于水、醇、胺等多種有機(jī)溶劑,具有優(yōu)異的溶解性、成膜性、化學(xué)穩(wěn)定性、生理惰性、粘結(jié)性和絡(luò)合能力。


產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn): 醫(yī)藥級(jí)、化妝品級(jí)、工業(yè)級(jí)


規(guī)格型號(hào): 根據(jù)聚合物分子量和水溶液粘度計(jì)算K值,分為以下型號(hào)。


K值測(cè)試方法為:1%水溶液的運(yùn)動(dòng)粘度換算而得。


產(chǎn)品名稱K值固含量%pH
PVP K1210-14≥953.0-7.0
PVP K1513-18≥953.0-7.0
PVP K1715-19≥953.0-7.0
PVP K2523-28≥953.0-7.0
PVP K30 / K30L27-32.4≥95 / 303.0-7.0
PVP K60 / K60L55-65≥95 / 405.0-9.0
PVP K80 / K80L75-83≥95 / 205.0-9.0
PVP K85 / 85L78-90≥95 / 205.0-9.0
PVP K90 / 90L88-96 / 81-100≥95 / 205.0-9.0
PVP K120 / K120L105-130≥95 / 115.0-9.0


主要作用:

1. 在CMP拋光液中,改善磨粒的分散性能。

2. 降低拋光液表面張力,增大拋光液對(duì)晶圓表面的潤(rùn)濕性。

3. 改變待拋基底表面 zeta 電位,減少拋光液對(duì)晶圓表面的污染。


分散機(jī)理


聚乙烯吡咯烷酮(PVP)作為一種非離子兩親性聚合物,同時(shí)具有親水基團(tuán)和疏水基團(tuán),其具有良好的吸附能力,從而降低兩相之間的界面張力。

當(dāng)金屬氧化物磨粒加入到含有PVP的拋光溶液中后,PVP分子上的親水基團(tuán)和磨粒的表面相互吸引,PVP吸附到磨粒表面,并逐漸形成一層PVP分子膜。其空間位阻效應(yīng)可以克服磨粒之間的范德華力等引力作用,防止磨粒團(tuán)聚,形成穩(wěn)定均勻的CMP拋光液。


NKY?PVP K


主要應(yīng)用

1. CMP漿料中分散劑。

2. 納米磨粒合成過程中的表面穩(wěn)定劑、生長(zhǎng)調(diào)節(jié)劑、形態(tài)控制劑、納米粒子分散劑和還原劑。


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